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1)鋁粉直接氮化法
ALN+N2→2ALN將鋁粉放入通有氮氣與氨氣的反應的反應爐中加熱到600℃開(kāi)始反應。我們就能合成大量純度較高的ALN粉,目前有這種方式的大規模生產(chǎn)。但是這種方法一般難以得到顆粒微細、粒度均勻的氮化鋁粉末,通常需要后處理。還有AL顆粒表面氮化后形成ALN層會(huì )阻礙氮氣向顆粒的中心的擴散,因此采用這種方法轉化率是一個(gè)重要的問(wèn)題。
2)氧化鋁的碳熱還原法
Al203+3C+N2→2AlN+3CO這種方法目前運用在工業(yè)生產(chǎn)中運用最為廣泛,對其研究進(jìn)行的比較深入。
在該法中制備氮化鋁粉體中常加入氧化鈣、氟化鈣、氧化釔等作為催化劑,其中加氟化鈣更有效的降低活化能,提高反應速率。這種制備的氮化鋁粉末純度高,成形和燒結性能好,但合成溫度高反應時(shí)間長(cháng),粉末粒度較大。
這邊需要說(shuō)明下,如果有懂得金絲鍵合工藝的小伙伴就比較清楚,表面較為粗糙的有顆粒狀明顯的氮化鋁,如果使用這類(lèi)的氮化鋁濺射薄膜金屬,打線(xiàn)時(shí)是不太容易鍵合上的,特別是球焊工藝,很容易出現脫焊狀況。
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